硅片制造新标准
铸锭和切片工艺自上个世纪70年代开始被用于硅片制造。铸锭就是将多晶硅原材料熔融后缓慢冷却形成一个大的长方体的“硅锭”。目前普遍使用的G6铸锭炉需要大约80小时,生产出的硅锭截面大约为1米×1米,高大约为0.5米,重约800Kg。此后就是一系列的机械加工过程。首先,将这个大的硅锭沿高度方向切成36块截面为156mm×156mm的小方锭 (开方),其次,去掉顶部和底部品质不良部分(截断)。再次次,将小方锭的四边抛光(磨面),再次,将四个棱磨去(倒角), 为后面的线切割做准备。而这一步线切割工艺中, 近一半的硅原料成为“切割碎屑“而白白浪费。 这是一个投资巨大,耗时耗能,步骤繁多,浪费严重的工艺。1366研发的”直接法硅片“技术化繁为简,一步法直接从硅熔液中生长出高效多晶硅片。